平面研磨機分為單面和雙面。單面研磨機是一次只能研磨工件一個面的機器，雙面研磨機則是一次性可以同時對工件的正反兩個面同時進行研磨拋光。

       單面研磨機和雙面研磨機有很多相似點，也有一些不同之處。相似的地方有，設備的裝置基本相同，同一類型工件所用的耗材和配置是一樣的。

       機器的研磨原理和適用范圍是一樣的。不同的地方表現在雙面研磨機上面有兩個研磨盤，上研磨盤和下研磨盤，兩者平行。而單面研磨機上只有一個研磨盤。其次，兩者固定工件的方式有些不一樣。

       單面研磨機的工作原理：將被磨、拋材料放于研磨盤上，研磨盤逆時鐘轉動，修正輪帶動工件自轉，重力加壓的方式對工件施壓，工件與研磨盤作相對運轉磨擦，來達到研磨拋光目的。研磨盤修整機構采用油壓懸浮導軌前后往復運動，金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進行精密修整，得到理想的平面效果。

       雙面研磨機的工作原理：上、下研磨盤作相反方向轉動，工件在載體內作既公轉又自轉的游星運動。磨削阻力小不損傷工件，而且兩面均勻磨削生產效率高。有光柵厚度控制系統，加工后的產品厚度公差可控制。雙面研磨機的裝置包括兩個研磨盤，游輪，四個電機，太陽輪，修面機等。

       兩者相比較，雙面研磨機的構造相對要復雜一些，但是如果需要雙面研磨的工件用雙面機進行研磨比單面機的效率無形中藥快一倍。這種雙面研磨機的誕生和發展為很多行業的生產效率帶來了改良。用的比較多的有光學玻璃行業的硅片，藍寶石襯底，外延片等等。