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即將普及的碳化硅器件

關鍵詞 碳化硅器件 , 普及|2009-10-12 00:00:00|來源 電子產品世界
摘要 隨綠色經濟的興起,節能降耗已成潮流。在現代化生活中,人們已離不開電能。為解決“地球變暖”問題,電能消耗約占人類總耗能的七成,提高電力利用效率被提至重要地位。據統計,60%至70%的...
  隨綠色經濟的興起,節能降耗已成潮流。在現代化生活中,人們已離不開電能。為解決“地球變暖”問題,電能消耗約占人類總耗能的七成,提高電力利用效率被提至重要地位。
  
  據統計,60%至70%的電能是在低能耗系統中使用的,而其中絕大多數是消耗于電力變換和電力驅動。在提高電力利用效率中起關鍵作用的是功率器件,也稱電力電子器件。如何降低功率器件的能耗已成為全球性的重要課題。
  
  在這種情況下,性能遠優于普遍使用的硅器件的碳化硅(SiC)器件受到人們青睞。SiC器件耐高溫(工作溫度和環境溫度)、抗輻射、具有較高的擊穿電壓和工作頻率,適于在惡劣條件下工作。特別是與傳統的硅器件相比,目前已實用的SiC器件可將功耗降低一半。由此將減少設備的發熱量,從而可大幅度降低電力變換器的體積和重量。其缺點是制備工藝難度大,器件成品率低,因而價格較高,影響了其普通應用。
  
  隨著技術進步,近年來SiC襯底的直徑做的越來越大,器件質量越來越高,生產SiC 產品的廠商越來越多,從而使制約SiC發展的SiC襯底供應情況大為改觀。特別是由于SiC二極管廠商的增加和SiC產量的增長,使SiC器件的價格不斷下降。與此同時,SiC二極管的容量不斷增大和SiC晶體管的實際應用,帶動了SiC器件性能的不斷改善。SiC器件己從高價時代的航天、航空、雷達、核能開發等領域,擴展至石油和地熱鉆井勘探、變頻空調、平板電視、混合動力汽車和電動汽車以及太陽能光電變換等民用領域。汽車制造廠、空調公司和陽光發電部門以及眾多電源廠商,對SiC器件的應用寄與厚望,人們已將其稱做節電降耗的關健器件。
  
  SiC器件開發現況
  
  2009年SiC MOSFET晶體管已經可以量產,輸出為100A的SiC二極管大批量問世。
  
  目前,SiC器件已被用于混合動力汽車和電動汽車設備中。2008年9月日本豐田公司開發出了SiC二極管逆變器,應用于X-TRAIL FCV型汽車進行道路行駛實驗。同月,本田汽車公司已用SiC器件制出了電源模塊。2009年日本開發的SiC變頻空調在市場上銷售。日本大阪的關西電力公司,開發出SiC逆變器,用于陽光發電。歐洲意法半導體公司用于電源的SiC二極管目前已大批量市售。德國英飛凌公司批量生產體積小的SiC二極管和SiC型MOS場效應晶體管,2009年3月推出了第三代薄型 SiC肖特基二極管。據日本三菱公司的試驗表明,電力變換器中使用的硅基耐壓600V快速恢復二極管和IGBT。如果用SiC SBD(肖特基勢壘二極管)和MOSFET管代替,功耗可降50%,甚至70%。SiC的工作環境可穩定地提高至300℃,而硅不超過200℃。因此可減少散熱器或不用散熱器。此外,SiC器件可在高頻下工作,在100KHz下使用的SiC器件已問世。
  
  2008年日本羅姆公司開發出了300A,耐壓660V的10毫米見方的SiC二極管樣品。傳統產品因成品率低,只有幾毫米見方的。一般情況下要擴大電流量就要增大芯片面積,然而芯片面積大則由于襯底質量的限制,成品率會降低。
  
  2009年2月美國Cree公司與Powerex公司開發出了雙開關1200伏、100安培的SiC功率模塊。其由耐高壓和大電流的SiC的MOS場效應晶體管和SiC肖特基二極管組成。
  
  日產汽車開發出了5毫米見方的SiC和硅的異構結二極管,電流容量可超過100A。在羅姆公司協作下,日產汽車還開發出1~2毫米見方的SiC二極管,電流容量也能達到100A。
  
  美國Cree公司和日本羅姆公司在業界領先生產SiC的MOS場效應晶體管。SiC功率晶體管分3類:MOSFET、結型場效應及IGBT那樣的雙極型器件。前兩者為單極型器件。SiC晶體管的結構比SiC二極管復雜、因此成品率低、價格貴、影響其普及。然而對于耐壓1200伏的應用,SiC晶體管對于硅基晶體管的成本優勢己很明顯。
  
  專家指出,對于耗電大戶的信息業的數據中心,目前采用SiC器件在一年內可收回投資。
  
  目前影響SiC晶體管量產的兩個因素是其動態電阻稍大和氧化層的可靠性。前者是由于SiC晶體管溝道移動性低,后者則可影響到晶體管的可靠性。
  
  SiC襯底市場
  
  SiC器件的基礎材料是SiC襯底。決定SiC器件能否普及的是器件價格。影響價格的是器件成品率。而器件成品率受到襯底質量的制約。2009年世界最大的SiC襯底廠商美國Cree公司,已可批量生產高質量6英寸SiC襯底。2008年起,Cree公司已可量產無中空貫穿缺陷(微管)的SiC襯底。從2008年5月開始,其微管基本為零的4英寸襯底能批量供應。日本新日本制鐵2008年也生產出同樣基本無微管缺陷的4英寸襯底。
  
  在SiC襯底市場方面,美國Cree公司壟斷了優質SiC襯底的供應。2007年起,該公司在市場上供應2至3英寸基本上無微管的襯底。2008年其位錯為每平方厘米5千個。2009年將提供6英寸基本上無微管的襯底。其次是德國SiCrystal公司和日本新日鐵公司。SiCrystal2008年可提供基本上無微管的3英寸SiC襯底,其位錯為每平方厘米2千個;新日鐵目前擁有每平方厘米1個微管的3英寸SiC襯底,其位錯為每平方厘米5千個至2萬個,2009年稍晚些可推出4英寸SiC襯底。第3梯隊產品質量一般,有日本東纖-道康寧合資公司和中國天科合達藍光半導體公司。天科合達藍光公司在出售2英寸SiC襯底基礎上,2008年第3季度又推出了3英寸SiC襯底,其每平方厘米微管數量在50個以下。據Yolu發展公司的統計和預測,2005年至2009年SiC器件市場的年增長率為27%,2010年至2015年的年增長率為60%至70%。
  
  有關專家指出,我國天科合達藍光公司進入SiC襯底市場影響巨大。其將迅速降低國際市場上SiC襯底的售價,從而推動SiC器件的更快普及。我國有關部門應進行支持,促進SiC器件在國內的應用,而不要使其只為國外廠商,特別是日本廠商,做廉價原料的供應商。
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