超精密磨削已廣泛應(yīng)用于軸對稱非球面光學(xué)元件及硬脆材料的加工，加工過程中砂輪的不平衡量和機(jī)床主軸引起的振動直接影響工件表面精度及粗糙度。為了適應(yīng)球面工件超精密加工的要求，本文通過分析加工過程中產(chǎn)生的振動現(xiàn)象，建立磨削中振動引起工件表面輪廓誤差的數(shù)學(xué)模型，研究主軸轉(zhuǎn)速變化及磨削加工參數(shù)對工件表面精度的影響；通過建立工件與砂輪之間的運(yùn)動關(guān)系，得出砂輪的振幅、頻率及加工速度的變化對工件表面精度的影響條件。研究結(jié)果表明，選擇合理的加工參數(shù)能降低工件表面波紋度，提高工件的表面精度。
　　軸對稱非球面光學(xué)元件可以獲得球面光學(xué)元件不可比擬的良好的成像質(zhì)量，可提高光電系統(tǒng)的鑒別能力，在軍用和發(fā)用光電產(chǎn)品中應(yīng)用廣泛，是光電系統(tǒng)中的重要零件。但由于超精密磨削加工是一個多種因素綜合作用的過程，在加工過程中容易產(chǎn)生振動，在工件表面形成振動波紋和形狀誤差，從而惡化了加工質(zhì)量，同時加劇了砂輪的磨損，降低了生產(chǎn)率。
　　加工中微小的振動對微米級/納米級的工件表面質(zhì)量的影響也是極大的。近年來，已開展了許多關(guān)于解決或降低振動的方法的研究，學(xué)者們試圖找出各種參數(shù)或因素與加工振動的關(guān)系，并提出了相關(guān)的解決方案來提高加工精度。