申請號: 201720130464.3

申請日: 2017.02.14

國家/省市: 中國廣州(81)

主分類號: B24B 37/08(2012.01)

授權公告號: 206509880U

授權公告日: 2017.09.22

分類號: B24B 37/08(2012.01); B24B 57/02(2006.01)

申請人: 廣州半導體材料研究所

發明人: 謝鴻波; 劉軍; 賴韶輝; 姚永紅

代理人: 付茵茵

代理機構: 廣州市華學知識產權代理有限公司(44245)

申請人地址: 廣東省廣州市天河區東莞莊161號

摘要： 本實用新型涉及用于半導體晶片研磨機的液體磨料供給系統，包括低位磨料桶、高位磨料桶、連接低位磨料桶和高位磨料桶的上料管、將磨料從低位磨料桶抽至高位磨料桶的抽取泵、將磨料從高位磨料桶下料至研磨機的下料管、控制高位磨料桶下料通斷的開關閥門。本實用新型還涉及半導體晶片研磨系統，包括半導體晶片研磨機和液體磨料供給系統。本實用新型具有供料的靈活性更強，便于連續地供給磨料，實現磨片機不間斷的磨片，供料更均勻的優點，屬于半導體晶片加工設備技術領域。   

主權利要求

1.用于半導體晶片研磨機的液體磨料供給系統，其特征在于：包括-低位磨料桶，-高位磨料桶，-連接低位磨料桶和高位磨料桶的上料管，-將磨料從低位磨料桶抽至高位磨料桶的抽取泵，-將磨料從高位磨料桶下料至研磨機的下料管，-控制高位磨料桶下料通斷的開關閥門。