申請號: 201710190270.7
申請日: 2017.03.28 國家/省市: 中國江蘇(32)
公開號: 106863025A
公開日: 2017.06.20
主分類號: B24B 1/00(2006.01)
分類號: B24B 1/00(2006.01); B24B 37/08(2012.01); B24B 37/28(2012.01)
申請人: 江蘇吉星新材料有限公司
發明人: 胡孔林; 呂訊
代理人: 陳麗君
代理機構: 上海海頌知識產權代理事務所（普通合伙）(31258)
申請人地址: 江蘇省鎮江市揚中市油坊鎮新材料工業園區

摘要： 本發明提供的一種2吋、4吋藍寶石襯底背面缺陷修復加工方法，首先選用晶片貼片上蠟機將襯底的正面粘在陶瓷盤上，再將陶瓷盤放入自制游星輪中，通過雙面研磨設備進行研磨，其中研磨液配置比例為碳化硅研磨粉：懸浮液：去離子水=1Kg：0.1L：1L~5L，其中懸浮液為亞硝酸鈉與三乙醇胺的質量比是１：９的混合溶液，研磨設備的下盤速度設定為20轉/分鐘，上盤設定為15轉/分鐘，研磨液流量設定為300mL/分鐘，壓力為陶瓷盤的自重即為5.7KG，加工時間為10分鐘；將研磨后的襯底進行脫膠、清洗、退火、拋光；經修復后的藍寶石襯底，其質量指標均達到行業標準，質量標準滿足客戶需求，無需進行報廢處理，良品率有著顯著提升，大大降低了成本。 

主權利要求
1.一種2吋、4吋藍寶石襯底背面缺陷修復加工方法，其特征在于，包括以下工藝步驟：(1)貼片：選用晶片貼片上蠟機，將襯底正面粘貼在陶瓷盤上，然后將表面殘留膠擦拭干凈；(2)制備研磨液：采用碳化硅研磨粉、懸浮劑與去離子水混合制備研磨液，配置比例為碳化硅研磨粉：懸浮液：去離子水=1Kg：0.1L：1L~5L，攪拌速度為600轉/分鐘，研磨時間至少為10分鐘使研磨液均勻分布；(3)裝配載具：將陶瓷盤放入載具，即自制的游星輪中，使陶瓷盤能夠自轉，陶瓷盤與游星輪同時放入雙面研磨設備的下盤上，均勻分布擺置；(4)研磨：雙面研磨設備的下盤速度設定為20轉/分鐘，上盤設定為15轉/分鐘，確保上盤懸空于陶瓷盤上，不得接觸陶瓷盤表面，研磨液流量設定為300mL/分鐘，壓力為陶瓷盤的自重即為5.7KG，加工時間為10分鐘；(5)將研磨后的襯底進行脫膠、清洗、退火、拋光即得藍寶石襯底成品。